Apẹrẹ opitika ni ọpọlọpọ awọn ohun elo ni aaye gbigbe Semicotanctor. Ninu ẹrọ fọtoyiya, eto opitika jẹ iduro fun idojukọ ina ina ijaro ti ko mọ nipasẹ orisun ina ati imọ-ẹrọ rẹ lori siliki wafer lati ṣafihan apẹrẹ Circuse lati ṣafihan apẹrẹ kakiri. Nitorinaa, apẹrẹ ati ohun kikọ silẹ ti awọn irinše ti opitilẹ ninu ọna fọto Photolittography jẹ ọna pataki lati mu iṣẹ ti ẹrọ fọtoyioginirun. Awọn atẹle ni diẹ ninu awọn ẹya opitika ti a lo ninu awọn ẹrọ fọto fọto:
Idiyele ti ilana
01 Conditition prokite jẹ ẹya ara ẹrọ opitieji bọtini ninu ẹrọ lattograph kan, nigbagbogbo wa pẹlu awọn lẹnsi ti o wa pẹlu awọn lẹnsi contex, awọn lẹnsi concave, ati awọn pereses.
02 Iṣẹ rẹ ni lati dinku apẹrẹ Circuit lori boju-boju ati idojukọ rẹ si ori wafard ti a bo pẹlu Photoresist.
03 itunlẹ ati iṣẹ ti ipinnu Išẹ ni ipa idiwọn lori ipinnu ati didara aworan ti ẹrọ lathography
Digi
01 DigirsTi lo lati yi itọsọna ti ina ki o tọ si ipo ti o tọ.
02 ni awọn ẹrọ EUV Lithograp LOPRograpé, awọn digi wa pataki pupọ nitori ina EUV ni irọrun gba, nitorinaa awọn digi ti o pẹlu afihan giga gbọdọ ṣee lo.
03 Iduroṣinṣin dada ati iduroṣinṣin ti oluyipada tun ni ipa nla lori iṣẹ ti ẹrọ lattography.
Ajọ
Awọn asia 01 ni a lo lati yọ awọn oju oju omi kekere ti ina fẹ, imudarasi iṣedede ati didara ti ilana Photolittofinthography.
02 nipa yiyan àlẹmọ ti o yẹ, o le ṣe idaniloju pe ina ti epo-ọna kan ti n wọ inu ẹrọ lattography, nitorina ni ilọsiwaju deede ati iduroṣinṣin ti ilana luttography.
Awọn akude ati awọn paati miiran
Ni afikun, ẹrọ lintografy le lo awọn ẹya ara ẹrọ miiran, gẹgẹbi awọn ifiyesi, awọn polarizer, ati bẹbẹ lọ, lati pade awọn ibeere latography kan pato. Aṣayan, aṣa ati iṣelọpọ ti awọn ẹya ara ẹrọ deede wọnyi gbọdọ tẹle awọn ajohunše imọ-ẹrọ ti o yẹ ati awọn ibeere lati rii daju pe o ga ati ṣiṣe ti ẹrọ lathography.
Ni akojọpọ, ohun elo ti awọn irinše ti opitika ni aaye ti awọn ẹrọ Litrograins ni imọran lati mu ilọsiwaju ati iṣelọpọ iṣelọpọ LIGOECTNICDICT. Pẹlu idagbasoke ti o tẹsiwaju ti imọ-ẹrọ LITTPgbopti, iṣapeye ati intly ti awọn paati ti opictical yoo tun pese agbara ti o tobi fun iṣelọpọ awọn eerun awọn eerun-atẹle.
Fun awọn oye diẹ sii ati imọran iwé, ṣabẹwo si oju opo wẹẹbu wa nihttps://www.jiuuronoptics.com/Lati kọ diẹ sii nipa awọn ọja ati awọn solusan wa.
Akoko ifiweranṣẹ: Jan-02-2025
