Apẹrẹ opiti ni ọpọlọpọ awọn ohun elo ni aaye semikondokito. Ninu ẹrọ fọtolithography kan, eto opiti jẹ iduro fun idojukọ ina ina ti o tan jade nipasẹ orisun ina ati sisọ si ori wafer ohun alumọni lati ṣafihan ilana Circuit naa. Nitorina, apẹrẹ ati iṣapeye ti awọn ohun elo opiti ni eto fọtolithography jẹ ọna pataki lati mu iṣẹ-ṣiṣe ti ẹrọ fọtoyiya ṣiṣẹ. Awọn atẹle jẹ diẹ ninu awọn paati opiti ti a lo ninu awọn ẹrọ fọtolithography:
Ero asọtẹlẹ
01 Ète isọtẹlẹ jẹ paati opiti bọtini kan ninu ẹrọ lithography, nigbagbogbo ti o ni lẹsẹsẹ awọn lẹnsi pẹlu awọn lẹnsi convex, awọn lẹnsi concave, ati awọn prisms.
02 Iṣẹ rẹ ni lati dinku ilana iyika lori iboju-boju ki o fojusi si wafer ti a bo pẹlu photoresist.
03 Iṣe deede ati iṣẹ ti ibi-afẹde asọtẹlẹ ni ipa ipinnu lori ipinnu ati didara aworan ti ẹrọ lithography
Digi
01 Awọn digiti wa ni lo lati yi awọn itọsọna ti ina ati ki o tara o si awọn ti o tọ ipo.
02 Ni awọn ẹrọ lithography EUV, awọn digi ṣe pataki ni pataki nitori ina EUV ni irọrun gba nipasẹ awọn ohun elo, nitorinaa awọn digi ti o ni afihan giga gbọdọ ṣee lo.
03 Iṣeduro oju-aye ati iduroṣinṣin ti olutọpa tun ni ipa nla lori iṣẹ ti ẹrọ lithography.
Ajọ
01 Awọn asẹ ni a lo lati yọ awọn gigun gigun ti ina ti aifẹ, imudarasi deede ati didara ilana fọtolithography.
02 Nipa yiyan àlẹmọ ti o yẹ, o le rii daju pe ina ti iwọn gigun kan pato wọ inu ẹrọ lithography, nitorinaa imudarasi deede ati iduroṣinṣin ti ilana lithography.
Prisms ati awọn miiran irinše
Ni afikun, ẹrọ lithography le tun lo awọn paati opiti oluranlọwọ miiran, gẹgẹbi awọn prisms, polarizers, ati bẹbẹ lọ, lati pade awọn ibeere lithography kan pato. Aṣayan, apẹrẹ ati iṣelọpọ ti awọn paati opiti wọnyi gbọdọ ni muna tẹle awọn iṣedede imọ-ẹrọ ti o yẹ ati awọn ibeere lati rii daju pe konge giga ati ṣiṣe ti ẹrọ lithography.
Ni akojọpọ, ohun elo ti awọn paati opiti ni aaye ti awọn ẹrọ lithography ni ero lati mu iṣẹ ṣiṣe ati ṣiṣe iṣelọpọ ti awọn ẹrọ lithography, nitorinaa ṣe atilẹyin idagbasoke ti ile-iṣẹ iṣelọpọ microelectronics. Pẹlu idagbasoke ilọsiwaju ti imọ-ẹrọ lithography, iṣapeye ati isọdọtun ti awọn paati opiti yoo tun pese agbara nla fun iṣelọpọ ti awọn eerun iran atẹle.
Fun awọn oye diẹ sii ati imọran iwé, ṣabẹwo si oju opo wẹẹbu wa nihttps://www.jiujonoptics.com/lati ni imọ siwaju sii nipa awọn ọja ati awọn solusan wa.
Akoko ifiweranṣẹ: Jan-02-2025
